低溫泵的簡介：

    十多年前開始在真空電子技術相關工藝設備中應用低溫泵、干泵無油系統來獲得超高真空，效果滿意。這次嘗試將低溫泵快速、潔凈和可靠的獨特優勢應用到真空爐中。將低溫泵并入真空系統中，達到清潔的超高真空環境。本文以實例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應用； 重點介紹了低溫泵真空系統的設計思路，真空系統的主要配置和注意事項，低溫泵的選型計算，并用圖示方法詳細介紹了低溫泵系統的安裝、使用和維護等環節。對同類真空爐的研發和低溫泵的應用都有參考價值。通過嚴格把關各研發環節，按照超高真空規范進行清洗，除氣和烘烤，最后真空爐的極限壓力達到了2 × 10^-7Pa，將常規的真空爐極限壓力延伸了近一個數量級。近年來無油真空泵在半導體行業為代表的領域被引進并廣泛應用。從而低溫泵+ 干泵為代表的無油超高真空獲得系統在半導體電子技術、光學鍍膜系統和航空航天領域得到了廣泛推廣。

　　通過低溫介質將抽氣面溫度降低到20 K 以下，抽氣面就可以冷凝沸點溫度較低的氣體，從而抽出大量的氣體。這種利用低溫抽氣面將氣體冷凝的抽氣泵叫低溫泵，或冷凝泵。是利用低溫介質降低表面溫度后將氣體冷凝、吸附或是冷凝+ 吸附，將被抽空間的壓力降低，而獲得真空或維持真空狀態的裝置。

　　作為完整的抽氣系統，低溫泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機?，F在得到廣泛應用的都是制冷機式低溫泵，其核心是低溫制冷機。工作基本流程為：氦氣首先被壓縮到高溫高壓狀態；再通過熱交換器被冷卻為常溫氦氣；經純化后的高純氦氣最后經汽缸完成絕熱膨脹，變成低溫氦氣。如此不斷循環，氦氣被不斷降溫，成為制冷介質—低溫氦氣。

　　選擇低溫泵的優勢有：

　?、贊崈?，純無油，抽氣范圍寬，可快速獲得理想的超高真空環境；

　?、谂c口徑相同的其它真空泵相比，低溫泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；

　?、蹖Ρ怀闅怏w無選擇，雜質顆粒而不影響系統工作；

　?、芸梢匀我饨嵌劝惭b，沒有運動部件，不需要前級泵，運行和維護成本低；

　?、荼┞洞髿鈱ο到y影響小，壓縮機斷水后可以自保護，所以可以實現無人值守。

真空系統的設計

　　真空爐選用低溫泵系統，最大的問題就是解決熱負載。真空爐中的熱負載主要來自于三方面：

　?、賮碜誀t體側的熱輻射；

　?、谡硿鳡顟B下，氣體分子攜帶走熱量；

　?、蹃碜员每诠艿赖臒醾鲗Ш洼椛錈崃?。

　　低溫泵工作在分子流狀態下，熱源②可忽略。熱源③可以通過增加水冷結構消除。設計時主要考慮來自爐體的熱負載對低溫泵的影響。真空爐內選擇多層金屬反射屏。真空爐最高加熱溫度為1300℃，共設計6 層反射屏，內3 層選鉬屏，其余各層選不銹鋼反射屏。理論上加熱器通過輻射到達容器壁的溫度約200℃，溫度隨著時間會慢慢升高。多數情形，低溫泵可裝個90°彎頭，以避免與真空室直通，這就進一步減少了傳給泵的熱負載，這也是減少熱輻射最簡單有效的方法。在分子流狀態下，彎頭對流導的影響可忽略，對超高真空系統而言比擋板更有效。為了進一步減少泵口管道熱傳導熱和輻射對低溫泵的影響，在彎頭管道上設計了水冷結構。

   以上就是低溫泵在超高真空爐中的應用實例，有什么疑問請聯系廣東中德科技制泵有限公司，歡迎您的來電咨詢：0769-83230019。